Elektrostatyczne mikrosiłowniki

Naukowcy z grupy projektowej MESYS działającej w ramach Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems IPMS od trzech lat pracują nad rozwojem mikrosiłowników elektrostatycznych o nazwie NED (nanoscopic electrostatic drives). Po raz pierwszy efektami swoich prac podzielili się na łamach czasopisma Nature Communications.

Profesor Harald Schenk, dyrektor Fraunhofer IPMS wyraził swoje zadowolenie z publikacji w prestiżowym czasopiśmie, podkreślając, że w ciągu tego czasu badaczom udało się opracować aktuatory działające na zupełnie nowych zasadach.

Siłowniki zgodne z technologią CMOS rozwiązują podstawowe problemy dotyczące aktuatorów elektrostatycznych. Dotychczas osiągane przez nie wychylenia były bardzo ograniczone i mogły wynosić zaledwie 33% szerokości elektrod. Jednak dzięki zastosowaniu odpowiedniego mechanizmu dźwigniowego problem został rozwiązany, umożliwiając siłownikom pełne wykorzystanie mocy pola elektrostatycznego.

Opatentowane siłowniki mogą znacznie poprawić wydajność mikroukładów, takich jak pojemnościowe przetworniki ultradźwiękowe, siłowniki przeznaczone do luster wychylnych, czy mikrozawory. Ponadto z nowego rozwiązania mogą czerpać MEMS-owe pompy. W dłuższej perspektywie siłowniki elekrostatyczne mogą stać się zagrożeniem dla materiałów piezoelektrycznych i elektrostrykcyjnych.

(rr)