System pozycjonujący w skali nano

System nanopozycjonowania oparty na lewitacji magnetycznej

Physik Instrumente we współpracy z IMMS oraz Wydziałem Mechatroniki Politechniki w Ilmenau opracowało system nanopozycjonowania oparty o zasadę lewitacji magnetycznej. Jest on, przede wszystkim, przeznaczony dla przemysłu półprzewodników oraz biotechnologii.

Platforma unosi się w polu magnetycznym generowanym przez sześć cewek. Natężenie pola monitorowane jest przez sześciokanałowy czujnik. Przy pomocy zmian prądów płynących przez poszczególne cewki, możliwe jest sterowanie przemieszczeniem platformy.

Napęd oraz wysoka rozdzielczość systemu pozwalają na ruch o 6 stopniach swobody. Bierna platforma nie potrzebuje żadnych połączeń kablowych z podłożem.

Dwuwymiarowy, optyczny system pomiarowy oparty o technikę przyrostową rejestruje pozycję czujników pojemnościowych i służy do korekcji pozycji we wszystkich osiach. Dzięki temu możliwe jest uzyskanie niezwykle płynnych i precyzyjnych ruchów, które dotychczas były nieosiągalne.

(rr)