SMARTIEHS. Metoda szybszego testowania MEMS

SMARTIEHS. Metoda szybszego testowania MEMS

Zespół europejskich naukowców opracował sposób na testowanie setek elementów MEMS na raz, co pozwoli skrócić czas badania z 20 minut do niespełna 30 sekund.

Obecnie systemy mikroelektromechaniczne, czyli MEMS muszą być testowane pojedynczo, co czyni ten proces czasochłonnym i kosztownym. Finansowany przez Unię Europejską projekt SMARTIEHS (inteligentne systemy do szybkiego i wielofunkcyjnego testowania MEMS i MOEMS) ma na celu opracowanie lepszej i tańszej metody testowania dla przemysłu.

„Dzisiaj, czujniki ciśnienia opon testowane są w procesie produkcji jedynie elektrycznie, a testy te nie gwarantują pełnej funkcjonalności.” – stwierdził Kay Gastinger z SINTEF ICT, skandynawskiej organizacji badawczej koordynującej projekt.

Metoda SMARTIEHS wykorzystuje układ interferometrów, które potrafią precyzyjnie identyfikować kształt obiektu, zmiany kształtu, oraz wibracje. Idea, która przyświeca projektowi polega na tym, by stworzyć szklaną płytkę zawierającą 100 interferometrów, a następnie wykorzystać ją do testowania 100 obwodów na płytce MEMS w jednym przebiegu. Naukowcy będą mogli w ten sposób mierzyć kształt, deformacje, oraz częstotliwość rezonansową chipów MEMS, co pozwoli im identyfikować błędy produkcyjne.

„Zbudowaliśmy już prototyp stacji będącej w stanie mierzyć pięć chipów jednocześnie.” – dodał Gastinger. Prototyp składa się z płytki pełniącej rolę soczewki, lustra, oraz rozdzielającej wiązkę. Górna powłoka zawiera 25 miniaturowych soczewek, które w zasadzie przypominają małe mikroskopy i pełnią funkcje obrazujące. Mikrozwierciadła znajdujące się w środku soczewek generują efekt interferencji.

Po ukończeniu projektu pod koniec 2011 roku, naukowcy spodziewają się dysponować urządzeniem o 50 kanałach. Liczą też, że liczbę tę szybko uda się powiększyć do oczekiwanych 100.

(lk)